我們將可調(diào)位移平臺(tái)和檢測(cè)物體位置的傳感器成為位移微傳感器。測(cè)量?jī)晌矬w空間相對(duì)距離的傳感器也被視為可調(diào)位移平臺(tái)傳感器??烧{(diào)位移平臺(tái)傳感器可分為接觸式和非接觸式兩大類。接觸式可調(diào)位移平臺(tái)傳感器將傳導(dǎo)桿與被測(cè)體固定在一起,再將傳導(dǎo)桿的位置信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。傳統(tǒng)的接觸式位移傳感器有電阻式、電感式、電容式、電磁式和光學(xué)式幾種。
不需要傳導(dǎo)桿而直接檢測(cè)目標(biāo)物位移的可調(diào)位移平臺(tái)傳感器成為非接觸式可調(diào)位移平臺(tái)傳感器。非接觸式可調(diào)位移平臺(tái)傳感器通常利用電感、電容或電磁技術(shù)、激光、遠(yuǎn)紅外、微波或超聲波技術(shù)進(jìn)行測(cè)距。在需要建立和維護(hù)位置偏置與容差的工程應(yīng)用中,可調(diào)位移平臺(tái)傳感器的使用十分廣泛。根據(jù)要求的不同,測(cè)量位移的范圍也相差很大,從需要用長(zhǎng)波長(zhǎng)微波器件測(cè)量公里級(jí)的位移,到短波長(zhǎng)微波器件測(cè)量米級(jí)的位移,到常用的各種可調(diào)位移平臺(tái)傳感器測(cè)量的毫米級(jí)位移,以及用激光干涉法測(cè)量微米級(jí)位移,直到用x射線衍射干涉法測(cè)量亞納米級(jí)位移。
在日常生活中經(jīng)常用到可調(diào)位移平臺(tái)微傳感器,例如在交通信號(hào)燈和機(jī)器人上的監(jiān)測(cè)器,精確控制驅(qū)動(dòng)器和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中用來(lái)測(cè)量驅(qū)動(dòng)器或驅(qū)動(dòng)桿位置的光學(xué)編碼器。它們?cè)跇?gòu)建信息化社會(huì)中起到了巨大的作用。